진공 기술은 우리나라 반도체, 디스플레이(Display) 산업의 근간이 되는 기반 기술이지만, 실무까지 아우를 수 있는 도서는 많지 않은 것이 현실이다. 이 책은 실무 경험이 많은 저자가 그동안 쌓은 경험과 데이터를 이론적으로 분석하고, 해석함으로써 실질적으로 활용할 수 있는 진공 기술서이다.

서울 대광고등학교 졸업(1985년)
한양대학교 자연과학대학 물리학과 학사/석사 졸업(1991년)
현재 LG전자 생산기술원 책임연구원(1994년~)

LG전자/일본 Alps전기 합작법인 Frontec 차세대 LCD 장비 개발 파견연구원(1996년)
세계 최대 사이즈 PDP MgO 증착기 개발(2002년)
국내 최초 2세대 OLED 증착/Encapsulation 라인 개발(2005년)
세계 최초 8세대 OLED TV 증착/Encapsulation 라인 개발 LG전자 총괄리더(2012~2015년)
LG전자/LG Display OLED TV 개발 교환연구원(2012~2015년)

CHAPTER 1 진공이란
·진공의 정의
·압력의 정의
·압력의 단위
·진공의 분류
·진공 기술 개발사
·진공의 응용

CHAPTER 2 진공 기술 이론
·진공 기술 이론
·기체의 운동 법칙
·평균자유행로
·충돌률(충돌 유량)
·기체의 수송 현상
·증기압
·유량, 기체 방출률
·기체 흐름
·기체와 고체 표면의 반응
·대기와 진공 상태, 물(수분)의 영향 및 제거 방법

CHAPTER 3 진공 해석
·진공 해석
·배기 시간의 계산
·압력 강하 과정
·압력 강하 해석
·기체 방출의 계산
·배기 속도 계산
·압력 계산
·진공 해제
·압력 상승량 계산
·압력 증가의 원인
·누출의 정의
·기체 방출의 측정
·대기 환경과 N2 환경, 진공 환경의 비교
·전도의 의미
·전도의 연결
·전도의 계산(분자류)
·유효 배기 속도의 계산
·전도의 계산(점성류)
·전도의 계산(점성류에서 분자류까지)

CHAPTER 4 진공 만들기
·진공에서 필요한 기본 요소들
·진공 만들기
·진공 펌프의 종류
·건식 펌프
·크라이오 펌프
·터보 분자 펌프
·진공 측정
·전기용량 게이지
·열전대 게이지
·이온 게이지
·잔류 가스 분석기

CHAPTER 5 진공 장비
·진공 장비의 종류
·증착 장비
·스퍼터링 장비
·화학 증착 장비
·진공 장비의 구분