본 교재는 관련분야에서 다년간의 연구경험과 대학원 학생들을 대상으로 한 진공기술과 표면과학 강의자료를 종합하였다. 초보적인 지식을 가진 엔지니어도 손쉽게 이해할 수 있도록 기술하였으며 대학원과정에서의 강의교재로서의 활용과 더불어 이공계대학 혹은 엔지니어들의 연구개발을 위한 표면분석장비의 도입이나 선정시 그 기술적 특징의 이해나 활용성 및 적합성 등을 판단하기 위한 참고자료로 활용될 수 있도록 하였다.