ÄÜÅÙÃ÷ »ó¼¼º¸±â
¹ÝµµÃ¼ ÀüÀï


¹ÝµµÃ¼ ÀüÀï

<ÃÖ³«¼·> Àú | ÇÑ¿ÃÃâÆÇ»ç

Ãâ°£ÀÏ
2022-05-15
ÆÄÀÏÆ÷¸Ë
PDF
¿ë·®
20 M
Áö¿ø±â±â
PC½º¸¶Æ®ÆùÅÂºí¸´PC
ÇöȲ
½Åû °Ç¼ö : 0 °Ç
°£·« ½Åû ¸Þ¼¼Áö
ÄÜÅÙÃ÷ ¼Ò°³
ÀúÀÚ ¼Ò°³
ÇÑÁÙ¼­Æò

ÄÜÅÙÃ÷ ¼Ò°³

Äڷγª 19°¡ ¿ì¸®ÀÇ ÀÏ»óÀ» ¼ÛµÎ¸®Â° ¹Ù²ã ³õ¾ÒµíÀÌ ¹ÝµµÃ¼´Â ¶Ç ´Ù¸¥ Àǹ̿¡¼­ ¿ì¸®ÀÇ »ýÈ°¼ÓÀ¸·Î ±í¼÷È÷ ÆÄ°í µé°í ÀÖ´Ù. ÀÌ Ã¥Àº ÀηùÀÇ ¿î¸íÀ» ¹Ù²Ü ¹ÝµµÃ¼¿¡ ´ëÇÑ À̾߱â´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼°è¿¡¼­ ÀϾ´Â ÀÏÀÌ ¾î¶² ¹æÇâÀ¸·Î ¿òÁ÷ÀÌ´ÂÁö, ±× ¿òÁ÷ÀÓÀÇ °á°ú°¡ ¼¼»óÀ» ¾î¶»°Ô ¹Ù²ã³õ°í ÀÖ´ÂÁö ±×·Áº¸°íÀÚ ÇÑ´Ù. Etching, EUV °°Àº Àü¹®¿ë¾î¿¡ ´ëÇØ ¼Ó¼ÓµéÀÌ ¾Ë ÇÊ¿ä´Â ¾ø´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ·± ¿ë¾îµéÀÌ ¾î¶² ¸Æ¶ô¿¡¼­ ¾î¶² Àǹ̸¦ °®°í ÀÖ´ÂÁö ¾È´Ù¸é ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ ¼¼°è¸¦ ³ª¸§ÀÇ ¹æ¹ýÀ¸·Î Çؼ®ÇÒ ¼ö ÀÖÁö ¾ÊÀ»±î ±â´ëÇغ»´Ù.

ÀúÀÚ¼Ò°³

¹Ì ¡¤ Áß °¥µî Àü¹®°¡·Î¼­ ±â¾÷ÀÌ Á÷¸éÇϰųª Á÷¸éÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ¿Í À§±â¸¦ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î ºÐ¼®ÇÏ°í Á¦¾ÈÇÏ´Â ÀÏÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç SK±×·ìÀÇ ±³À° ¡¤ ¿¬±¸ Ç÷§ÆûÀÎ mySUNI¿¡¼­ ÀÏÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¼¼»óÀ» ÀÐ¾î ³»´Â Èû¿¡ °ü½ÉÀÌ ¸¹´Ù. Çѱ¹°æÁ¦½Å¹®¿¡¼­ÀÇ ±âÀÚ »ýÈ°°ú Áß±¹ Īȭ´ëÇп¡¼­ÀÇ À¯ÇÐ °æÇèÀÌ ¿À´ÃÀÇ ¼¼»óÀ» Àо´Âµ¥ Å« µµ¿òÀÌ µÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÏ»ó »ýÈ°¼Ó¿¡¼­ ÀÚ°­ºÒ½Ä(í»Ë­ÝÕãÓ)À» ½ÇõÇÏ·Á°í ³ë·ÂÁßÀÌ´Ù.