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PART 1 ¹ÝµµÃ¼ ÀÔ¹®Çϱâ
Chapter 01 ¹ÝµµÃ¼ ¾Ë¾Æº¸±â
1. ¹ÝµµÃ¼¶õ ¹«¾ùÀΰ¡
Chapter 02 ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷°ú ½ÃÀå
1. ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå
2. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¹ë·ùüÀÎ
3. ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Æ®·»µå
Chapter 03 ¹ÝµµÃ¼ Ãë¾÷
1. ¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« Á¾·ù¿Í Á÷¹«º° ¿£Áö´Ï¾î°¡ ÇÏ´Â ÀÏ
2. ¹ÝµµÃ¼ ¿£Áö´Ï¾î¸¦ ²Þ²Ù´Â ¿©·¯ºÐ¿¡°Ô
PART 2 ¹ÝµµÃ¼ ±âÃÊ ÀÌ·Ð
Chapter 01 ¹ÝµµÃ¼ ÀÌÇظ¦ À§ÇÑ ¹°¸®ÀüÀÚ ±âÃÊ
1. ¹°Áú±âÃÊ ÀÌ·Ð
2. ¿¡³ÊÁö ¹êµå ÀÌ·Ð
Chapter 02 ¹ÝµµÃ¼ ±âÃÊ
1. ¹ÝµµÃ¼ Á¤ÀÇ
2. ¹ÝµµÃ¼ ³»ÀÇ Ä³¸®¾î ³óµµ
3. ¹ÝµµÃ¼ ³»ÀÇ Ä³¸®¾î ¿îµ¿
PART 3 ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ
Chapter 01 ¼öµ¿¼ÒÀÚ
1. ¼öµ¿¼ÒÀÚ
2. R, L, CÀÇ ÀÌÇØ
Chapter 02 ´ÙÀÌ¿Àµå
1. PN ´ÙÀÌ¿Àµå(PN Diode)
2. ±Ý¼Ó-¹ÝµµÃ¼ Á¢ÇÕ(Metal-Semiconductor Junction)
Chapter 03 BJT
1. BJT(Bipolar Junction Transistor)
2. Çö´ë ½Ç¸®ÄÜ È¸·Î¿¡¼ÀÇ BJT
Chapter 04 MOSFET
1. MOS Capacitor
2. MOSFET
3. MOSFETÀÇ Scale-down°ú Short Channel Effect
4. ÃֽŠMOSFET ¼ÒÀÚ
Chapter 05 CMOS Image Sensor
1. À̹ÌÁö ¼¾¼ °³¿ä
2. CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ °³¿ä
Chapter 06 SRAM
1. MemoryÀÇ Á¤ÀÇ¿Í ¸Þ¸ð¸® °èÃþµµ
2. SRAM ±¸Á¶¿Í ¿ø¸®
Chapter 07 DRAM
1. DRAM ±¸Á¶¿Í ¿ø¸®
2. ÃֽŠDRAM µ¿Çâ
Chapter 08 NAND Flash
1. Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸®(Flash memory) ±¸Á¶¿Í ¿ø¸®
2. NAND Flash ±¸Á¶¿Í ¿ø¸®
3. ÇöÀçÀÇ NAND Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® Ãß¼¼¿Í 3D NAND
Chapter 09 ´º¸Þ¸ð¸®
1. ´º¸Þ¸ð¸® °³¿ä
2. ´º¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ
PART 4 ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤
Chapter 01 ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ÀÌÇظ¦ À§ÇÑ Çʼö °³³ä
1. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °³¿ä
2. Wafer °øÁ¤
3. Ŭ¸°·ë(Cleanroom)
4. °øÁ¤ ¼³ºñ¿Í °øÁ¤ ÆĶó¹ÌÅÍ
5. Áø°ø(Vacuum)
6. ÇöóÁ(Plasma)
Chapter 02 Æ÷Åä °øÁ¤(Photolithography)
1. Æ÷Åä °øÁ¤À̶õ?
2. Æ÷Å丶½ºÅ©(Photo Mask)
3. Æ÷Åä °øÁ¤ ¼ø¼
4. °¨±¤Á¦(Photoresist)
5. ³ë±¤ °øÁ¤(UV Exposure)
6. Æ÷Åä °øÁ¤ ºÐÇØ´É Çâ»ó ±â¼ú(RET, Resolution Enhancement Technology)
7. ´ÙÁß ÆÐÅÏ(Multiple Patterning)
8. Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú, EUV(Extreme ultra violet
Chapter 03 ½Ä°¢ °øÁ¤(Etch)
1. ½Ä°¢ °øÁ¤À̶õ?
2. ½À½Ä½Ä°¢
3. °Ç½Ä½Ä°¢
4. ½Ä°¢ Ư¼º
5. °Ç½Ä½Ä°¢°ú ÇöóÁ
6. Reactive Ion Etch(RIE)
7. ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·ÀÇ °Ç½Ä½Ä°¢
8. °Ç½Ä½Ä°¢ Àåºñ
9. °í¹Ðµµ ÇöóÁ(High Density Plasma)
10. ¿øÀÚÃþ ½Ä°¢¹ý(Atomic Layer Etch, ALE)
Chapter 04 ¹Ú¸· °øÁ¤
1. ¹Ú¸· °øÁ¤À̶õ?
2. ¹Ú¸· Ç°Áú
3. ¹°¸®Àû ±â»ó ÁõÂø(PVD, Physical Vapor Deposition)
4. ÈÇÐÀû ±â»ó ÁõÂø(CVD, Chemical Vapor Deposition)
Chapter 05 ±Ý¼Ó ¹è¼± °øÁ¤
1. ¹è¼± °øÁ¤À̶õ?
2. ½Ç¸®»çÀ̵å(Silicide) °øÁ¤
3. ÅÖ½ºÅÙ Ç÷¯±×(W plug)
4. ¾Ë·ç¹Ì´½ ¹è¼±
5. Cu ÀüÇØ µµ±Ý(Eletroplating)
Chapter 06 »êÈ °øÁ¤(Oxidation)
1. »êÈ °øÁ¤À̶õ?
2. ¿»êȸ·ÀÇ Æ¯¼º°ú ¿ªÇÒ
3. »êȸ· ¼ºÀå
4. »êÈ°øÁ¤Àåºñ
5. ÁúÈ °øÁ¤
Chapter 07 Doping °øÁ¤
1. Doping °øÁ¤À̶õ?
2. È®»ê°øÁ¤
3. ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ °øÁ¤(Implantation)
4. ¿¡ÇÇÅýà ¼ºÀå¹ý(Epitaxial Growth, Epi.)
Chapter 08 CMP °øÁ¤(CMP, Chemical£Mechanical Polishing)
1. CMP °øÁ¤À̶õ?
2. CMP °øÁ¤ ¹æ¹ý
3. CMP Àåºñ
4. CMP °øÁ¤ Ư¼º
5. CMP ÈÄ ¼¼Á¤
Chapter 09 ¼¼Á¤ °øÁ¤(Cleaning)
1. ¼¼Á¤ °øÁ¤À̶õ?
2. ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤
3. ½À½Ä¼¼Á¤ ±â¼ú
4. °Ç½Ä¼¼Á¤ ±â¼ú
PART 5 ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ® ¹× ÆÐŰ¡ °øÁ¤
Chapter 01 ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ® °øÁ¤
1. Å×½ºÆ®(Test)ÀÇ °³³ä
2. Å×½ºÆ® ÀåºñÀÇ Á¾·ù¿Í Ư¼º
3. ¿þÀÌÆÛ Å×½ºÆ®[Wafer Test, EDS(Electrical Die Sorting) Test]
4. ÆÐÅ°Áö Å×½ºÆ®(Package Test, Final Test)
5. ¼öÀ²(Yield)
Chapter 02 ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰ¡ °øÁ¤
1. ÆÐŰ¡(Packaging) °øÁ¤
2. ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°Áö ±â¼ú
[ºÎ·Ï] ÇʼöÀÌ·Ð Çٽɿä¾àÁý