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¿¡Äª(Etching)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» ºÎ½ÄÇÏ¿© ¿øÇÏ´Â ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ¿¡ÄªÀº ·¹Áö½ºÆ®, ¸¶½ºÅ©, »êÈ­¸· µîÀÇ Àç·á¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¼öÇàµË´Ï´Ù.

·¹Áö½ºÆ®(Resist)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» º¸È£Çϰųª ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â ¹°ÁúÀÔ´Ï´Ù. ·¹Áö½ºÆ®´Â ºûÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ³ë±¤ °øÁ¤À» ÅëÇØ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϰųª ¿¡Äª ÈÄ¿¡ Á¦°ÅµÇ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù.

¸¶½ºÅ©(Mask)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯Á¤ ºÎºÐÀ» º¸È£Çϰųª ¿¡ÄªÇÒ ¿µ¿ªÀ» Á¤ÀÇÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù. ¸¶½ºÅ©´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ÆÐÅÏÀ» Á¤È®ÇÏ°Ô Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëµË´Ï´Ù.

»êÈ­¸·(Oxide)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» º¸È£Çϰųª Àü±âÀû Ư¼ºÀ» °³¼±Çϱâ À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â »êÈ­µÈ ¹°ÁúÀÔ´Ï´Ù. »êÈ­¸·Àº ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ, ½ºÇdzÊ, ÁõÂø µîÀÇ °øÁ¤¿¡¼­ »ç¿ëµË´Ï´Ù.

ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ(Ion Implantation)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¿¡ ÀÌ¿ÂÀ» ÁÖÀÔÇÏ¿© Àü±âÀû Ư¼ºÀ» °³¼±Çϰųª ƯÁ¤ ¼ÒÀÚ¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù.

½ºÇdzÊ(Spinner)´Â ·¹Áö½ºÆ®³ª »êÈ­¸·À» ƯÁ¤ ºÎºÐ¿¡ °í¸£°Ô ºÐ»çÇϰųª ȸÀü½ÃÄÑ Ç¥¸éÀ» ±ÕÀÏÇÏ°Ô Ã³¸®ÇÏ´Â ÀåºñÀÔ´Ï´Ù.

ÁõÂø(Deposition)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯Á¤ ºÎºÐ¿¡ ÃþÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ÁõÂøÀº ¸¶½ºÅ·, ³ë±¤, ÇöóÁ µîÀÇ °øÁ¤°ú ÇÔ²² »ç¿ëµÇ¾î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯¼ºÀ» °³¼±Çϰųª º¸È£ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù.

¸¶½ºÅ·(Masking)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯Á¤ ºÎºÐÀ» º¸È£Çϰųª ¿¡ÄªÇÒ ¿µ¿ªÀ» Á¤ÀÇÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ¸¶½ºÅ·Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ÆÐÅÏÀ» Á¤È®ÇÏ°Ô Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëµË´Ï´Ù.

³ë±¤(Lithography)Àº ·¹Áö½ºÆ®¸¦ ºûÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ³ë±¤Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù.

ÇöóÁ(Plasma)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» ó¸®Çϰųª ¿¡ÄªÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµÇ´Â °¡½º »óÅÂÀÇ ¹°ÁúÀÔ´Ï´Ù. ÇöóÁ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» ±ú²ýÇÏ°Ô Ã³¸®Çϰųª ƯÁ¤ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµË´Ï´Ù.

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