¹ÝµµÃ¼ ¿¬»è °øÁ¤ ±â¼úÀÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ ´Ù¾çÇÑ ÀÛ¾÷À» ¼öÇàÇÏ´Â Àü¹®°¡ÀÔ´Ï´Ù. À̵éÀº ´Ù¾çÇÑ ±â¼ú°ú Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¸¦ Á¦Á¶ÇÏ°í Ç°ÁúÀ» Çâ»ó½ÃÅ°´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù.
¿¡Äª(Etching)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» ºÎ½ÄÇÏ¿© ¿øÇÏ´Â ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ¿¡ÄªÀº ·¹Áö½ºÆ®, ¸¶½ºÅ©, »êȸ· µîÀÇ Àç·á¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¼öÇàµË´Ï´Ù.
·¹Áö½ºÆ®(Resist)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» º¸È£Çϰųª ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â ¹°ÁúÀÔ´Ï´Ù. ·¹Áö½ºÆ®´Â ºûÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ³ë±¤ °øÁ¤À» ÅëÇØ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϰųª ¿¡Äª ÈÄ¿¡ Á¦°ÅµÇ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù.
¸¶½ºÅ©(Mask)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯Á¤ ºÎºÐÀ» º¸È£Çϰųª ¿¡ÄªÇÒ ¿µ¿ªÀ» Á¤ÀÇÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù. ¸¶½ºÅ©´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ÆÐÅÏÀ» Á¤È®ÇÏ°Ô Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
»êȸ·(Oxide)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» º¸È£Çϰųª Àü±âÀû Ư¼ºÀ» °³¼±Çϱâ À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â »êÈµÈ ¹°ÁúÀÔ´Ï´Ù. »êȸ·Àº ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ, ½ºÇdzÊ, ÁõÂø µîÀÇ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ(Ion Implantation)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¿¡ ÀÌ¿ÂÀ» ÁÖÀÔÇÏ¿© Àü±âÀû Ư¼ºÀ» °³¼±Çϰųª ƯÁ¤ ¼ÒÀÚ¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù.
½ºÇdzÊ(Spinner)´Â ·¹Áö½ºÆ®³ª »êȸ·À» ƯÁ¤ ºÎºÐ¿¡ °í¸£°Ô ºÐ»çÇϰųª ȸÀü½ÃÄÑ Ç¥¸éÀ» ±ÕÀÏÇÏ°Ô Ã³¸®ÇÏ´Â ÀåºñÀÔ´Ï´Ù.
ÁõÂø(Deposition)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯Á¤ ºÎºÐ¿¡ ÃþÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ÁõÂøÀº ¸¶½ºÅ·, ³ë±¤, ÇöóÁ µîÀÇ °øÁ¤°ú ÇÔ²² »ç¿ëµÇ¾î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯¼ºÀ» °³¼±Çϰųª º¸È£ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù.
¸¶½ºÅ·(Masking)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯Á¤ ºÎºÐÀ» º¸È£Çϰųª ¿¡ÄªÇÒ ¿µ¿ªÀ» Á¤ÀÇÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ¸¶½ºÅ·Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ÆÐÅÏÀ» Á¤È®ÇÏ°Ô Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
³ë±¤(Lithography)Àº ·¹Áö½ºÆ®¸¦ ºûÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ³ë±¤Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù.
ÇöóÁ(Plasma)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» ó¸®Çϰųª ¿¡ÄªÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµÇ´Â °¡½º »óÅÂÀÇ ¹°ÁúÀÔ´Ï´Ù. ÇöóÁ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸éÀ» ±ú²ýÇÏ°Ô Ã³¸®Çϰųª ƯÁ¤ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¿¬»è°øÁ¤ÀÇ ±âº» ¿ø¸®
¹ÝµµÃ¼ ¿¬»è°øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Àåºñ ¼Ò°³
¹ÝµµÃ¼ ¿¬»è°øÁ¤ÀÇ ¿ª»ç¿Í ¹ßÀü
°øÁ¤ ÃÖÀûÈ ¹æ¹ý
°áÇÔ ¹× ¹®Á¦ ÇØ°á ¹æ¹ý
¾ÈÀü ¹× º¸¾È °ü¸®
ȯ°æ °ü¸®
ÀÚµ¿È ¹× ·Îº¿È ±â¼ú
µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼® ¹× ÀΰøÁö´É È°¿ë
¿¡³ÊÁö È¿À²È ±â¼ú
Àç·á ¼±Åà ¹× Ư¼º ºÐ¼®
°øÁ¤ °øÇÐ ¹× ÃÖÀûÈ
¼ÒÀç °øÇÐ ¹× ¼³°è
Áøµ¿ Á¦¾î ¹× ¾ÈÁ¤È ±â¼ú
¼ÒÀ½ ¹× Áøµ¿ °ü¸®
ºñ¿ë Àý°¨À» À§ÇÑ Àü·«
°øÁ¤ ¾ÈÁ¤¼º ¹× ½Å·Ú¼º È®º¸
°øÁ¤ ÃÖÀûȸ¦ À§ÇÑ ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ±â¼ú
°øÁ¤ ÀÚµ¿È¸¦ À§ÇÑ ·Îº¿ ±â¼ú
°øÁ¤ Ç°Áú Çâ»óÀ» À§ÇÑ ¹æ¹ý
°øÁ¤ ¾ÈÀü¼ºÀ» À§ÇÑ ±â¼ú °³¹ß
°øÁ¤ ȯ°æ Ä£ÈÀû ±â¼ú µµÀÔ