현대 산업 기술의 발전과 함께, 박막 증착 공정은 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 다양한 분야에서 중요한 역할을 하고 있습니다. 이 책은 박막 증착 공정의 기초부터 응용까지, 다양한 이론과 실제 공정 기술을 다루고 있습니다.


이 책은 박막 증착 공정에 대한 이론과 실제를 종합적으로 다루고 있어, 관련 분야의 전공자나 실무자들에게 유용한 참고 자료가 될 것입니다. 독자 여러분들의 많은 관심과 성원 부탁드립니다.

제1장 박막 증착 공정의 개요
■ 박막의 정의 및 응용 분야 | 5p
■ 박막에 필요한 특성 | 8p
■ 박막의 제조 방법 | 10p
■ 박막의 분석 방법 | 12p

제2장 진공 기술
■ 진공과 압력 | 16p
■ 진공 펌프 및 게이지 | 21p
■ 기체의 유동 특성 | 32p

제3장 플라즈마 공정
■ 플라즈마의 생성 원리 | 36p
■ 플라즈마의 종류 | 42p
■ 플라즈마의 응용 | 50p

제4장 물리적 기상 증착 1
■ 스퍼터링 원리 | 54p
■ 스퍼터링 공정의 종류 | 59p
■ 스퍼터 설비의 운용 | 68p

제5장 물리적 기상 증착 2
■ 진공증발 증착법의 원리 | 79p
■ 진공증발 증착법의 종류 및 특성 | 88p
■ 진공증발 증착 설비의 운용 | 95p

제6장 화학적 기상 증착
■ 화학적 기상 증착의 원리 | 102p
■ 화학적 기상 증착 공정의 종류 | 116p
■ 화학적 기상 증착 설비의 운용 | 135p

제7장 원자층 증착
■ 원자층 증착의 원리 | 141p
■ 원자층 증착 공정의 종류 | 164p
■ 원자층 증착 설비의 운용 | 176p

제8장 박막 증착을 통한 소자 제조 및 분석
■ 박막 태양전지의 특성 및 구조 | 184p
■ 각 층별 박막 증착 | 188p
■ 제조된 박막 태양전지의 특성 확인 | 204p