현대 반도체 기술은 끊임없이 발전하고 있으며, 그 중요성은 점점 더 커지고 있습니다.
이러한 기술 혁신을 실현하기 위해서는 반도체 소자의 물리적, 전기적 특성을 깊이 있게 이해하고 이를 바탕으로 정확한 시뮬레이션을 수행할 수 있는 도구가 필수적입니다.
본 책은 이러한 필요성을 충족시키기 위해, Sentaurus TCAD 시뮬레이션을 활용하여 반도체 소자의 특성을 분석하고 시뮬레이션하는 방법에 대해 자세히 설명하고자 합니다.
Sentaurus TCAD는 다양한 반도체 소자의 물리적 특성과 동작을 시뮬레이션할 수 있는 강력한 도구로, 연구 및 산업 현장에서 널리 사용되고 있습니다. 그러나, 이 도구의 사용법을 처음 접하는 이들에게는 다소 복잡하고 까다롭게 느껴질 수 있습니다.
본 책은 이러한 어려움을 해소하기 위해, 기본적인 설정부터 시뮬레이션 수행까지 단계별로 상세히 설명하며, 실제로 수행한 다양한 시뮬레이션 결과에 대해 함께 학습할 수 있도록 구성하였습니다.
저자는 반도체 소자의 시뮬레이션을 위한 TCAD 도구들의 활용법을 연구하고 교육해 온 경험을 바탕으로, 이 책을 통해 독자들이 Sentaurus TCAD를 효과적으로 사용할 수 있도록 돕고자 합니다.
이 책이 반도체 소자 연구자 및 엔지니어들에게 실질적인 도움이 되기를 바라며, 독자 여러분들이 이 책을 통해 TCAD 시뮬레이션의 세계를 깊이 탐구하고, 더 나아가 반도체 기술의 발전에 기여할 수 있기를 기대합니다.

Chapter. 1
Sentaurus Workbench 시작 및 Project 실행하기
Chapter. 2
Multiple Experiment 만들기
Chapter. 3
Sentaurus Structure Editor 시작하기
Chapter. 4
간단한 2D Device Structure 만들기
Chapter. 5
Sentaurus Workbench에서 Device Structure 만들기
Chapter. 6
3D Device Structure 만들기
Chapter. 7
Sentaurus Device의 기초
Chapter. 8
Sentaurus Workbench에서 Device 사용하기
Chapter. 9
표를 IRDS 활용한 FinFET 소자 구현 및 시뮬레이션
Chapter. 10
3D NAND Flash Memory 동작 시뮬레이션