우리나라는 반도체 강국 이라고 합니다. 반도체 분야에서 기본적인 분석장비인 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope) 이론 및 구성에 대해 예제 그림과 사진을 이용하여 보다 쉽게 학부생들의 이해를 돕기 위한 책 입니다. 주사전자현미경은 기본적인 장비이고 현재는 정말 많은 회사 및 연구소에서 사용하고 있는 장비 이나 석사 박사 과정을 거치지 않는 일반 학부생들은 접하기 조금 어려운 장비 입니다. 이 책이 학교 또는 회사에서 주사전자현미경을 사용하고 있는 분들에게 필요한 책이라고 판단됩니다.

주사전자현미경이론및실습
분해능(Resolution)
광학현미경과 전자현미경 비교
주사전자현미경 이란?
전자빔에 의한 시료의 상호작용
전체 System
열방출형 전자총(Thermoionic Emission)
전계방출형 전자총(Field Emission)
전자 광학계(Electrical Optics)
전자총(Electron Gun)
전자기렌즈(Electro Magnetic Lens)
가변조리개(Variable Aperture)
시료실(Chamber)
시료실 환경에 따른 전자현미경 분류
엣찌(Edge) 효과
가속전압(Accelerating Voltage) 효과
원자번호(Atomic Number) 효과
대전(Charge Up)효과
초점심도(Depth of Focus)
가속전압(Accelerating Voltage) 변화에 따른 이미지 관계
집속렌즈(Condensor Lens) 변화에 따른 이미지 관계
가변조리개(Variable Aperture)크기 변경에 따른 이미지 관계
작업거리(Working Distance) 변화에 따른 이미지 관계
부가장비(EDS, BSED)를 사용을 위한 전자빔의 조정 관계
전자빔의 정렬
전자총 정렬(Gun Alignment)
가변조리개 축 정렬
초점(Focus)과 비점보정(Stigmator) 맞춤
현미경의 수차(Aberration)
시료전처리(Specimen Preparation)
시료전처리의 목적
코팅의 목적
코팅종류
SEM의 시료 제작을 위한 준비물
SEM시료 제작 순서
주사전자현미경 작동 방법
초점 과 비점보정 조작법(자세히)
Vacuum Control Short 매뉴얼
AISSERON Short 매뉴얼
HC-21 Ion Sputter Coater 사용법
G20 Ion Coater 사용법
에너지분광분석기(Oxford EDS) 사용법
Cold Mounting 방법
Hot Mounting(Hot Press) 사용법
Polisher 사용법
주사전자현미경 실습
대표적 소모성 부품의 종류 및 수명
Cathode Unit(Filament) 교체
고정조리개(Fixed Apertures)교체
가변조리개(Variable Aperture) 교체
터보분자펌프(TMP) 점검 사항
Rotary 펌프 점검 및 관리
부록