보통 '진공'이란 공간 속의 기체분자가 적은 상태라고 생각하고 있다. 그러나 더욱 '청정'의 극한을 추구하면 여러 가지 변화가 일어난다. 또한 기술혁신에서 가능해지는 과정을 서술하고 있다.

머리말
1. 진공의 자리를 내리는 일에의 도전
2. 진공 공업이 더듬어온 길
3. 가장 눈부신 발전 - 진공을 이용한 성막 공업
4. 감기 증착
5. 이온 플레이팅
6. 플라스마 프로세스 - ㅅ퍼터링
7. 초고진공Ⅰ - 깨끗한 진공을 만든다
8. 초고진공Ⅱ - 표면과학과 분자선 에피택시얼 성장
9. 넓어지는 플라스마 이온빔 이용 기술
10. 거대 과학과 초고진공 기술 - 앞으로의 진전
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