<오데레사> 저 | 우용출판사
『반도체 분석』은 CVD공정에 의한 저유전물질인 SIOC 박막을 증착하고 분석하는 과정에 대하여 단계별로 정리한 것으로 대학교 학부 과정의 실습을 위한 실험교재로 사용하기 위해 쓰여졌다.
